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济南翼菲智能科技取得晶圆搬运机械人专利可以

2025-08-02 07:14

  金融界2025年5月9日动静,国度学问产权局消息显示,济南翼菲智能科技股份无限公司取得一项名为“一种晶圆搬运机械人”的专利,授权通知布告号CN222831816U,申请日期为2024年7月。

  专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆搬运机械人,包罗机架、机械臂和结尾施行器,所述结尾施行器包罗:基座,其取所述机械臂毗连;施行机构,其取所述基座毗连,其设于所述施行机构的一侧,其设于所述施行机构的另一侧,并取所述翻转轴毗连,以使所述第一吸附板正在所述翻转轴动弹时随动,所述第一吸附板正在所述机械臂的带动下可以或许吸附所述晶圆片,并通过所述夹持手指将所述晶圆片夹持正在所述第一吸附板上。




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